近年来,由于半导体等技术的迅速发展,国内半导体厂房建筑的数量呈现增长趋势。由于其中含有洁净厂房等有特殊要求的车间,所以半导体厂房对其空调、给排水等系统都有着稳定、精确等要求,具体来说有以下几点:
- 为防静电或过度潮湿,洁净厂房对温湿度的控制要求非常严格
- 洁净厂房空调属于大面积全室空调,耗电量巨大,因此要求空调系统能够节能降耗
- 电子产品生产线要求水系统运行有绝对的可靠性和密封性
- 工艺给水系统对水质及相关设备材质要求较高
- 生产线产能需求大,空调设备需要支持在线维修
控制精确
恒温恒湿,精密控制
节能降耗
低阻高效,水力平衡
功能稳定
保障系统24小时,不间断工作
不锈钢材质
脱油脱脂,保证水质要求
质量可靠
减少漏水风险,保障电子,产品的安全生产
能源侧系统
制冷机组、锅炉及水泵是电子厂房空调系统的能量来源和动力核心,也是能源损耗较多的一个部分。如何减少安装空间、避免水锤对系统设备的损害、防止出现过流现象等是关注焦点。沃茨能提供全系列的能源侧阀门:
- 大规格手动蝶阀:最大尺寸可达DN1600,满足电子厂房的大规格需求
- 动态流量平衡阀:防止欠流过流,保护制冷机
- 定流量多功能阀:一阀多用,具有截止、止回和限流三种功能,大幅节约机房空间
- 角型整流过滤器:一阀多用,具备弯头、过滤及整流三种功能,大幅节约机房空间
- 倒流防止器:100%的防回流,且保证较小的水头损失
洁净厂房系统
为满足防静电、防粉尘以及避免湿度过大等工艺要求,洁净厂房对温湿度的控制要求非常严格。为达到高精度要求,洁净空调箱比普通空调箱增加了中温冷冻盘管、再热盘管、加湿等功能段,且每个功能段都需要电动调节阀的精密控制。
MAU(新风空调处理机组)解决方案
- 在MAU上使用智能控制阀的流量控制或能量控制模式,可有效消除过流,降低不必要的能耗浪费,控制更精准,运行更节能
DCC(干盘管)解决方案
- 在DCC支路上,可使用智能控制阀的压差控制模式,系统响应更快,控制更精准
工艺给水系统
为了避免毛细工艺冷却水管结垢堵塞,以及避免水中杂质对电子产品的污染,工艺给水系统对过滤器及阀门材质都有较高的要求。
- 工艺给水管道上的阀门主要采用不锈钢阀门,脱油脱硅,以保证对水质的要求
- 有Y型、篮式、角型等多款过滤器供设计选择,结构简单,安装清洗方便,纳污量大
舒适空调系统
对于电子厂房的办公楼及其他办公房间而言,空调系统需要一定的舒适度。因此达到室内温度恒定,是暖通专业设计的关键环节之一。
各层干管采用静态平衡阀+动态压差平衡阀,每台风机盘管采用FCU电动阀+温控面板方案,该方案一方面可降低同程系统所需的水管管材成本,另一方面简化水系统,减少吊顶中水管的数量,从而降低施工难度和成本,提高吊顶空间以达到更好的空间效果。
消防系统
消防水系统也是电子厂房不可缺少的一部分,是保证电子厂房人员和产品安全的重要系统。
- 沃茨可以提供严格按照国家标准GB5135.6-2003设计验证的产品,满足4倍的壳体强度,2倍的密封压力
- 严格按照强制产品实施规则CNCA-C18-03:2014实施认证
- 符合CCC认证标准的有消防蝶阀、消防信号蝶阀、消防闸阀、消防明杆闸阀以及消防信号闸阀